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MKS1559A气体质量流量计
1559A大流量控制器
1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的精度为全量程的±1％。
用于1559A的电缆线
CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247
（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10）
CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS
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